乙硼烷混氮氣
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乙硼烷混氮氣 B2H6/N2 Mixture
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| 組分 Components | 含量 Content |
| 乙硼烷 B2H6, 5N | ≥0.1% |
| 氮 N2，6N | Balance （平衡氣） |
| 組分 Components | 規(guī)格 Specification |
| 乙硼烷 Diborane（B2H6）5N | 99.999% |
| 氮 Nitrogen (N2) | ≤2 ppmv |
| 氧 Oxygen (O2) | ≤0.5 ppmv |
| 二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) | ≤2 ppmv |
| 甲烷 Methane (CH4) | ≤4 ppmv |
| 氫 Hydrogen (H2) | ≤100 ppmv |
| 三氟化硼 Boron trifluoride（BF3） | ≤ 50ppmv |
| 丁硼烷 Teraborane(B4H10) | ≤180 ppmv |
| 戊硼烷 Pentaborane(B5H9） | ≤10 ppmv |
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戊硼烷 Pentaborane（B5H11）
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≤10 ppmv |
| 氮 Nitrogen（N2）6N | 99.9999% |
| 水 Water(H20) | ≤0.5 ppmv |
| 氧+氬 Oxygen+Argon (O2+Ar) | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 Methane (CH4) | ≤0.1 ppmv |
| 氫 Hydrogen (H2) | ≤0.1 ppmv |
| 一氧化碳 Carbon Monoxide （CO） | ≤0.1 ppmv |
| 二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) | ≤0.1 ppmv |
| 包裝規(guī)格 | |
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鋼瓶規(guī)格 Cylinder Size
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47L
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充裝量 Fill Weight (kgs)
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100 bar
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閥門 Valve Connection
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CGA350/DISS632
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尺寸 Cylinder Dimensions(cm)
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23x140
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產(chǎn)品用途：用于半導(dǎo)體、太陽能電池等領(lǐng)域
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