在常溫常壓下，高純度六氟化硫無色、無味、無毒、不易燃、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性。它無毒，自身性能優(yōu)良，可滿足不同的生產(chǎn)要求。因此，在生產(chǎn)中廣泛使用高純度氣體。

在正常情況下，高純度六氟化硫是無毒的，但當(dāng)它與其他物質(zhì)反應(yīng)時，會產(chǎn)生劇毒物質(zhì)。電氣設(shè)備中的六氟化硫和分解產(chǎn)物在高溫電弧、電極、金屬材料、內(nèi)部濕氣和其他絕緣材料反應(yīng)后產(chǎn)生有毒產(chǎn)物。如果六氟化硫氣體不純，在出廠時很容易含有有毒氣體。

吸入高濃度六氟化硫會導(dǎo)致窒息癥狀，如呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜發(fā)藍(lán)。通常，六氟化硫中毒是因為氣體在高溫和高溫環(huán)境中產(chǎn)生副產(chǎn)物。它們和未溶解的六氟化硫共存并產(chǎn)生毒性。