高純六氟化硫在常溫常壓條件下為氣態(tài),溫度降低后在一定的壓力作用下較易液化為液態(tài)。當(dāng)環(huán)境溫度升高后,其對應(yīng)的液化壓力相應(yīng)升高,成為不易液化的氣體。當(dāng)溫度超過SF6的臨界溫度45.55℃時,就元法使其液化。又因為高純六氟化硫為惰性氣體,與油不相溶,所以可以比較容易地分離出所混入的油分。采用國際先進(jìn)技術(shù),濾油水平已達(dá)到與無油系統(tǒng)相媲美的程度,可以相當(dāng)徹底地清除油分。

SF6回收凈化裝置的主要優(yōu)點是將回收的SF6氣體以液體形式直接儲存在儲罐中，并將氣體絕緣開關(guān)設(shè)備中的殘余壓力恢復(fù)到53 kPa（絕對壓力）。體積小，便于移動和放置，吸氣速度快，可對回收的SF6氣體進(jìn)行干燥和過濾，也可將SF6氣體重新裝入SF6電氣設(shè)備。六氟化硫回收凈化一體化過濾吸附系統(tǒng)吸附SF6氣體中的雜質(zhì)、水分、分解產(chǎn)物和油，一體化設(shè)計，體積小，便于移動和使用。目前,在國際上高純六氟化硫回收充氣裝置的回收儲存原理主要有兩種,一種采用冷凍液化法原理:即在SF6氣體回收的過程中,在一定的SF6氣體壓力下,利用制冷機(jī)組使SF6氣體溫度降低至該壓力下的飽和蒸汽溫度,SF6氣體開始液化為液體,并以液體形式進(jìn)行儲存,優(yōu)點是回收速度快、液化速度快。另一種是采用高壓液化法原理,即在高純六氟化硫回收的過程中,在當(dāng)時的環(huán)境溫度下,利用壓縮機(jī)將SF6氣體壓力提高至該溫度下的飽和蒸汽壓力,SF6氣體開始轉(zhuǎn)化為液體,并以液體形式進(jìn)行儲存。

六氟化硫回收凈化裝置的優(yōu)點是系統(tǒng)簡單,缺點是系統(tǒng)工作壓力高,回收效率低,當(dāng)SF6氣體溫度(SF6氣體經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后溫度可達(dá)到80℃以上)超過臨界溫度45.55℃時,就無法使其液化,此時高溫高壓的SF6氣體只能經(jīng)過一段時間后待其溫度降至臨界溫度以下時才能轉(zhuǎn)化為液體。