工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ)原料，在國民經(jīng)濟中占有重要地位。 是石油化工、化工、冶金、醫(yī)藥、食品等行業(yè)不可缺少的原料。目前，全球工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展迅速。 中國巨大的市場空間，為處于盈利黃金期的行業(yè)增添了一些活力。 頂級生產(chǎn)商在堅守能源行業(yè)地位的同時，也在不斷開拓新的發(fā)展機遇。 工業(yè)氣體被譽為工業(yè)的“血液”。 隨著應(yīng)用深度和廣度的不斷提高，工業(yè)氣體在工業(yè)生產(chǎn)中的作用越來越不可替代。

根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同，工業(yè)氣體可分為大宗氣體和特種氣體。特種氣體主要包括電子氣體、高純氣體和標準氣體，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保和高端裝備制造等行業(yè)。 全球電子特種氣體市場分布電子特種氣體種類繁多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特殊氣體僅占整個半導(dǎo)體工藝應(yīng)用成本的5-6%，但由于其在半導(dǎo)體工藝中品種繁多、覆蓋面廣，已成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。

電子特種氣體作為關(guān)鍵的電子材料，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板、光伏、光纖通信等領(lǐng)域，近年來得到國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。 國家發(fā)展改革委、科技部、工業(yè)和信息化部、財政部、國家稅務(wù)總局等部門相繼出臺了一系列產(chǎn)業(yè)扶持政策，有力地促進了發(fā)展電子特種氣體產(chǎn)業(yè)。

大宗電子氣體和電子特種氣體是集成電路、顯示面板、半導(dǎo)體照明、光伏等行業(yè)制造過程中不可缺少的關(guān)鍵材料。 它們是集成電路制造的第二大制造材料，僅次于硅片。 晶圓制造成本的 13%。 電子特種氣體主要用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。 主要分為三氟化氮等清洗氣體和六氟化鎢等金屬氣相沉積氣體。

2016年至2021年，我國電子特種氣體市場規(guī)模由103億元增長至216億元，2020、2021年增速均超過20%。 隨著國內(nèi)半導(dǎo)體、面板等新興產(chǎn)業(yè)投資加速和國產(chǎn)化替代的推進，以及解決“卡脖子”問題的政策定向扶持，電子特種氣體的需求量將持續(xù)上升。

電子特種氣體（以下簡稱“電子特種氣體”）是晶圓制造的第二大材料，被譽為半導(dǎo)體的“血液”。 半導(dǎo)體材料可分為晶圓制造材料和封裝材料，其中晶圓制造材料是半導(dǎo)體材料的核心。 電子特種氣體主要用于晶圓制造的光刻、刻蝕、摻雜、外延沉積等核心工藝環(huán)節(jié)。 2021年將占晶圓制造材料需求的13.1%左右，在晶圓制造材料中排名第二大消耗品。電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響半導(dǎo)體器件的質(zhì)量、集成度、具體技術(shù)指標和良率，從根本上制約電路和器件的精度和準確度，影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率和性能。 重要的。 由于電子特種氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用量大、應(yīng)用范圍廣，是半導(dǎo)體生產(chǎn)中最基本、最重要的原材料，被譽為半導(dǎo)體的“血液”。

俄羅斯和烏克蘭的沖突導(dǎo)致稀有氣體供應(yīng)短缺，催化了電子特種氣體國內(nèi)替代加速。得益于發(fā)達的鋼鐵工業(yè)，俄羅斯和烏克蘭是世界上氪、氖、氙、氦等稀有氣體的主要供應(yīng)國。  TrendForce數(shù)據(jù)顯示，烏克蘭供應(yīng)全球70%的霓虹燈和40%的氪氣。 氣體和 30% 的氙氣。 俄烏沖突爆發(fā)后，供應(yīng)全球約 45%-54% 半導(dǎo)體級氖氣的烏克蘭主要供應(yīng)商 Ingas 和 Cryoin 在 3 月初停止運營，導(dǎo)致氖氣價格暴漲， 保持在高位。 截至2022年6月10日今天，氖、氪、氙的價格較年初分別上漲了953%、122%、97%。 與此同時，俄羅斯宣布將限制氖等稀有氣體出口至2022年底，進一步加劇了全球稀有氣體市場供應(yīng)。 供不應(yīng)求。

在地緣政治沖突、貿(mào)易摩擦、新冠疫情等不確定因素的催化下，國內(nèi)下游廠商充分認識到供應(yīng)鏈安全的重要性，積極尋求國內(nèi)電子特種氣體的產(chǎn)品替代品。 國內(nèi)替代電子特種氣體的需求日益旺盛。