電子級(jí)六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代六氟化硫（化學(xué)式為SF6）常態(tài)下是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、無(wú)嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性，在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同，六氟化硫可分為工業(yè)級(jí)六氟化硫以及電子級(jí)六氟化硫，近年來(lái)，隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升，市場(chǎng)對(duì)電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來(lái)越高，在此背景下，六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級(jí)向電子級(jí)方向升級(jí)。

  電子級(jí)六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件等大規(guī)模集成電路的蝕刻和清洗過(guò)程中。作為一種高附加值的精細(xì)化學(xué)品，電子級(jí)六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘，早期受技術(shù)限制，我國(guó)電子級(jí)六氟化硫產(chǎn)能不足，產(chǎn)品進(jìn)口依賴度較高，進(jìn)入21世紀(jì)，我國(guó)電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)電子級(jí)六氟化硫的需求增長(zhǎng)快速，電子級(jí)六氟化硫?qū)崿F(xiàn)自主生產(chǎn)需求迫切。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，電子級(jí)六氟化硫市場(chǎng)需求增速加快，我國(guó)電子級(jí)六氟化硫生產(chǎn)能力實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)。

  目前來(lái)看，我國(guó)六氟化硫生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量較多，但其中具備電子級(jí)六氟化硫量產(chǎn)能力的企業(yè)較少，公司電子級(jí)六氟化硫產(chǎn)品純度已達(dá)到5.5N級(jí)。我國(guó)電子特氣進(jìn)口依賴度較高，為提升電子特氣自給率、爭(zhēng)奪國(guó)際市場(chǎng)，我國(guó)政府對(duì)電子特氣行業(yè)發(fā)展的重視度提升。電子級(jí)六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘，早期我國(guó)電子級(jí)六氟化硫進(jìn)口依賴度較高，近年來(lái)，在政策扶持力度加大、企業(yè)研發(fā)能力提升的背景下，電子級(jí)六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。目前我國(guó)具備電子級(jí)六氟化硫量產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量較少，市場(chǎng)供應(yīng)仍偏緊，未來(lái)我國(guó)電子級(jí)六氟化硫行業(yè)發(fā)展空間廣闊。