1、氫化鍺（Germane），也稱為鍺烷，是一種無機(jī)化合物，化學(xué)式為GeH4，常溫常壓下為無色氣體，在室溫穩(wěn)定，在280℃左右開始分解，在350℃左右?guī)缀跞挤纸獬稍谿e和H2?？諝庵心苋紵紵龝r(shí)發(fā)出藍(lán)紅色火焰，但燃燒程度不如硅烷激烈。與氧或空氣的混合物易爆炸。常溫下在液氨中與堿金屬反應(yīng)生成MGeH3。鍺烷的自催化性強(qiáng)，一旦分解形成金屬覆蓋膜，就會(huì)急劇分解。因此，配管等材料的表面必須平滑。

2、鍺烷不溶于水，但可溶于次氯酸，微溶于熱濃硫酸。能被硝酸分解?？捎糜谥迫「呒兌孺N。鍺烷是一種無色、有毒的易燃?xì)怏w，帶有刺激性氣味。其可在空氣中自發(fā)燃燒。它可與氫、氬、氦、氮相互兼容，經(jīng)常與這些氣體混合運(yùn)送。鍺烷被用于外延硅和非晶硅、鍺、合金的沉積。

3、鍺烷且作為(Si, Ge)02薄膜等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積的一種成分，為光電子的應(yīng)用提供了可控的折射率。通常以游離氣體而非自身壓力下的液化氣體進(jìn)行運(yùn)送。