六氟異丁烯/HFIB
作為一種低GWP值的綠色環(huán)保新型干法刻蝕氣體，可應(yīng)用于半導(dǎo)體的前段刻蝕。
產(chǎn)品信息概括
|
項目 |
說明 |
|
|
化學(xué)名稱 |
六氟異丁烯；2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯；HFIB |
|
|
CAS號 |
382-10-5 |
|
|
分子式 |
C4H2F6 |
|
|
分子量 |
164.05 |
|
|
沸點（101.325kPa，℃） |
14.5 |
|
|
溶解度（23℃, g/L） |
0.23 |
|
|
密度(101.325kPa，g/cm3) |
1.39 |
|
包裝規(guī)格：4.64L/10.2L/44L鋼瓶
