碳酰氟
中文名 碳酰氟
外文名 Carbonic difluoride
別 名 氟光氣;氟氧化碳;氟化羰等
分子式 CF2O
分子量 66.01
沸 點 -84℃
外觀與性狀:帶有刺激性的無色氣體,遇水分解。
熔點(℃): -114
沸點(℃): -83
相對密度(水=1): 1.14(-114℃)
用途 可用于半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,有機化合物的氟化氣和原料以及有機合成的中間體、氟化劑。
中文名 碳酰氟
外文名 Carbonic difluoride
別 名 氟光氣;氟氧化碳;氟化羰等
分子式 CF2O
分子量 66.01
沸 點 -84℃
外觀與性狀:帶有刺激性的無色氣體,遇水分解。
熔點(℃): -114
沸點(℃): -83
相對密度(水=1): 1.14(-114℃)
用途 可用于半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,有機化合物的氟化氣和原料以及有機合成的中間體、氟化劑。
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