高純硅烷、硅烷混合氣
硅烷產(chǎn)品規(guī)格和技術指標
容器規(guī)格 | 容器尺寸 (cm) | 平均重量 (kg) | 閥門/螺紋出口 | 充裝量 |
49LDOT硅烷鋼瓶 | 23×140 | 70 | CGA350/Diss632 | 10kg、15kg |
440L硅烷Y罐 | 60×180 | 390 | CGA350/Diss632 | 125kg |
成分 | 純硅烷 | 高純硅烷 | 超純硅烷 | 單位 | |
硅烷 | ≥ | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | %V |
氧(氬) | ≤ | 1 | 0.4 | 0.1 | ppmv |
氮氣 | ≤ | 1 | 0.2 | 0.1 | ppmv |
氫氣 | ≤ | 50 | 30 | 20 | ppmv |
氦氣 | ≤ | - | 10 | 10 | ppmv |
一氧化碳+二氧化碳 | ≤ | 0.2 | 0.4 | 0.1 | ppmv |
總碳 | ≤ | 0.2 | 0.2 | 0.1 | ppmv |
氯化物 | ≤ | 15 | 0.2 | 0.1 | ppmv |
甲硅醚 | ≤ | 1 | 0.2 | 0.1 | ppmv |
乙硅烷 | ≤ | 1 | 0.2 | 0.1 | ppmv |
水份 | ≤ | 1 | 0.2 | 0.1 | ppmv |
硅烷產(chǎn)品說明
硅烷在常溫常壓下為無色、有毒、非?;钴S的壓縮氣體。在室溫下著火,在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋,如果濃度不夠低.仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時,它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃,大于3%時自燃,1%~3%時可能燃燒。硅烷是強還原劑,與重金屬鹵化物激烈反應,與氯、溴發(fā)生爆炸性反應,與四氯化碳激烈反應。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時,玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽能電池,光導纖維,有色玻璃制造,化學氣相淀積。
硅烷注意事項
使用硅烷的工作場所要通風,保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復進行置換和抽真空,一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時,從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處,要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷本身無腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火,所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢,使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高,所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。密閉操作,局部排風。操作人員必須經(jīng)過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
硅烷的應用
高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽能薄膜電池將硅分子附著于電池表面
跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)
高純硅烷應用于大規(guī)模集成電路的外延生長工藝中用作硅源
應用于國防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)
硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途
用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
硅烷操作說明
用一個減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調節(jié)或其他改動。
用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散,用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災 。所以的監(jiān)測器都應有內(nèi)鎖,一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源。
如果出現(xiàn)故障或其他操作問題,請立即與最近的分銷商聯(lián)系。
硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥,只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。
如有可能應避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行,一旦發(fā)生泄漏,處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監(jiān)測系統(tǒng)應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關,必要時可關閉硅烷氣源。
一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器,不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。
不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好,應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難,需停止使用,并與供應商聯(lián)系。
使用可調節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備必須防火花和防爆。
使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調節(jié)或其他改動。
用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散,用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災 。所以的監(jiān)測器都應有內(nèi)鎖,一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源。
如果出現(xiàn)故障或其他操作問題,請立即與最近的分銷商聯(lián)系。
硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥,只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。
如有可能應避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行,一旦發(fā)生泄漏,處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監(jiān)測系統(tǒng)應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關,必要時可關閉硅烷氣源。
一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器,不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。
不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好,應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難,需停止使用,并與供應商聯(lián)系。
使用可調節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備必須防火花和防爆。
硅烷的物理化學性質
分子量: 32.118
熔點(101.325kPa): -185.0℃
沸點(101.325kPa): -111.5℃
液體密度(-185℃): 711kg/m3
氣體密度(0℃,100kPa): 1.42kg/m3
相對密度(氣體,空氣=1,20℃,101.325kPa):1.114
比容(21.1℃,101.325kPa): 0.7518m/kg
氣液容積比(15℃,100kPa):412L/L
臨界溫度: -3.4℃
臨界壓力:4843kPa
臨界密度: 242kg/m3
熔化熱(-186.40℃,<0.1kPa): 24.62 kJ/kg
氣化熱(-111.40℃,101.325kPa):342.89kJ/kg
比熱容(氣體,25℃,101.325kPa): Cp=1333.96 J/(kg·K)
蒸氣壓(-168℃): 1.33kPa
(-60℃): 1040kPa
(-10℃): 4150kPa
粘度(101.325kPa,0℃):0.0108mPa·S
表面張力(-111.4℃,101325kPa):15.11mN/m
導熱系數(shù)(101.325kPa,0℃):0.01918 w/(m·K)
爆炸界限:0.8%~98%
火災危險度: 大
熔點(101.325kPa): -185.0℃
沸點(101.325kPa): -111.5℃
液體密度(-185℃): 711kg/m3
氣體密度(0℃,100kPa): 1.42kg/m3
相對密度(氣體,空氣=1,20℃,101.325kPa):1.114
比容(21.1℃,101.325kPa): 0.7518m/kg
氣液容積比(15℃,100kPa):412L/L
臨界溫度: -3.4℃
臨界壓力:4843kPa
臨界密度: 242kg/m3
熔化熱(-186.40℃,<0.1kPa): 24.62 kJ/kg
氣化熱(-111.40℃,101.325kPa):342.89kJ/kg
比熱容(氣體,25℃,101.325kPa): Cp=1333.96 J/(kg·K)
蒸氣壓(-168℃): 1.33kPa
(-60℃): 1040kPa
(-10℃): 4150kPa
粘度(101.325kPa,0℃):0.0108mPa·S
表面張力(-111.4℃,101325kPa):15.11mN/m
導熱系數(shù)(101.325kPa,0℃):0.01918 w/(m·K)
爆炸界限:0.8%~98%
火災危險度: 大